研究生: |
林格偉 ling ga wei |
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論文名稱: |
利用脈衝雷射沉積法製作階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計 |
指導教授: |
洪姮娥
Horng, Herng-Er 楊謝樂 Yang, Shieh-Yueh |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
光電工程研究所 Graduate Institute of Electro-Optical Engineering |
論文出版年: | 2009 |
畢業學年度: | 97 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 45 |
中文關鍵詞: | 超導量子干涉儀磁量計 、階梯 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:156 下載:0 |
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本實驗使用的是階梯式的基座來製作SQUID magnetometer,其優點在其單晶取得較容易且單晶基板能大幅降低成本,我們的實驗使用尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶( SrTiO3)(001)基板,經黃光製程使其形成階梯(step-edge),之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜,材料為釔鋇銅氧,鍍上臨界溫度90 K以上的超導薄膜,經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作,之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
在本論文中,我們成功製作出階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計,樣品在液態氮溫度(約77.4 K)下量測出之臨界電流Ic約60~70μA左右,常態電阻(Rn)約1~3Ω間,而電壓-磁場訊號最大可達32μV,雜訊方面,在屏蔽的環境下,white noise可達到10 ~ 20 μΦ0/Hz1/2,等效面積約等於0.16 mm2,磁場敏感度在高頻1 KHz下 129 , 代表我們所製作出的SQUID,已達到接近世界級的水準。
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