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研究生: 陳彥宏
CHEN, YAN-HONG
論文名稱: 使用脈衝雷射沉積法在鈦酸鍶雙晶體基座上製作超導量子干涉元件與特性研究
指導教授: 洪姮娥
Horng, Herng-Er
廖書賢
Liao, Shu-Hsien
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 光電工程研究所
Graduate Institute of Electro-Optical Engineering
論文出版年: 2013
畢業學年度: 101
語文別: 中文
論文頁數: 45
中文關鍵詞: 高溫超導磁量計脈衝雷射沉積法鈦酸鍶雙晶
論文種類: 學術論文
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  • 本實驗將討論如何製作與探討高溫超導磁量計,因為本實驗室之前使用的鈦酸鍶階梯式基座製作但因薄膜在階梯轉折處形成絕緣體成功率不夠穩定所以我們改變方法改為採用同大小的鈦酸鍶雙晶體基座,絕緣層較為穩定,希望能夠提升成功率。
    我們在使用脈衝雷射沉積法鈦酸鍶雙晶基板鍍上高溫超導釔鋇銅氧,經由儀器確認,其臨界溫度約在88 K以上,表面平整度在10 nm以下,再利用微影製程與乾式蝕刻的方式,製作量子干涉元件-磁量計,接著再利用SQUID訊號量測儀來測量我們成品之特性。
    本論文中成功製作出高溫超導磁量計。磁量計在液態氮溫度(約77.4K)的最大電壓-磁場訊號VPP最大可達到21μV, 臨界電流Ic=30μA,電阻Rn2.5歐姆 ,而在屏蔽環境之下磁場雜訊在1 KHz時約為16 μΦ0/Hz1/2,有效的提升了製成的成功率,並且依照製作方法建立出脈衝雷射沉積法製作鈦酸鍶雙晶SQUID的”標準作業程序” 有效的提升良率。

    目錄 第一章 緒論 1 第二章 雙晶式高溫超導磁量計製程”標準作業程序” 5 2-1 鈦酸鍶雙晶線蝕刻 5 2-2 高溫超導釔鋇銅氧薄膜的製程 10 2-3 高溫超導干涉元件的製作 16 第三章 雙晶式高溫超導磁量計之特性量測 22 3-1 高溫超導磁量計電性量測結果 22 3-2 高溫超導磁量計雜訊量測結果 30 3-3 高溫超導磁量計串聯結果 35 第四章 雙晶式高溫超導量子干涉元件數據整理分析 38 第五章 結論 43

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