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| 研究生： |
潘柏翰 |
|---|---|
| 論文名稱： |
階梯式高溫超導量子干涉元件基座及薄膜特性研究 |
| 指導教授： | 謝振傑 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
光電工程研究所 Graduate Institute of Electro-Optical Engineering |
| 論文出版年： | 2010 |
| 畢業學年度： | 98 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 46 |
| 中文關鍵詞： | 高溫超導 、釔鋇銅氧 、SQUID |
| 論文種類： | 學術論文 |
| 相關次數： | 點閱：97 下載：0 |
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本實驗使用的是尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶 (SrTiO3) (001)基板，經黃光製程使其形成階梯 (Step-edge) 式的基座來製作SQUID Magnetometer，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製臨界溫度90 K以上的釔鋇銅氧薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
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