研究生: |
劉品均 |
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論文名稱: |
階梯式陣列SQUID磁量計製作與特性研究 |
指導教授: | 楊鴻昌 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
光電工程研究所 Graduate Institute of Electro-Optical Engineering |
論文出版年: | 2010 |
畢業學年度: | 98 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 51 |
中文關鍵詞: | SQUID 、YBCO 、釔鋇銅氧 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:239 下載:0 |
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本論文主要是探討階梯式(Step-edge)直接耦合式直流SQUID磁量計之特性,其中SQUID 是以串聯方式與磁場補捉線圈形成直接耦合而成。磁量計中每個SQUID的線寬皆為3 μm,自感值為70 pH。實驗使用的基板階梯高度為192 nm, 階梯角度為70度,我們以階梯階梯高度與YBCO薄膜厚度比為1:1.2的條件下去製作SQUID磁量計, 順利的在階梯式基板製作陣列SQUID磁量計。
本實驗製作階梯的過程,製作階梯時離子束入射方向蝕刻的角度與基板相對的角度約60度,清除基板上殘留SrTiO3顆粒的蝕刻角度,離子束入射方向與基板的角度能儘可能的平行,以使階梯上緣的角度可以尖銳又陡峭,可以使約瑟芬接面順利產生,離子束入射方向與基板夾角60度蝕刻出來的基板角度是最陡,清除殘留SrTiO3顆粒選擇離子束入射方向與基板的夾角接近平行效果好。
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