研究生: |
陳家鏵 Chen, Chia-Hua |
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論文名稱: |
選擇性飛秒雷射結構技術於碳化矽基材之氣體檢測元件研究 Research on SiC-based Sensing Devices for Gas Detection by Selective Femtosecond Laser Structuring Technology |
指導教授: |
張天立
Chang, Tien-Li |
口試委員: |
林鼎晸
Lin, Ding-Zheng 陳玉彬 Chen, Yu-Bin 曾釋鋒 Tseng, Shih-Feng 鄧敦建 Teng, Tun-Chien 張天立 Chang, Tien-Li |
口試日期: | 2022/07/25 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
機電工程學系 Department of Mechatronic Engineering |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 182 |
DOI URL: | http://doi.org/10.6345/NTNU202201429 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:95 下載:0 |
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