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| 研究生： |
蕭博唐 Po-Tang Hsiao |
|---|---|
| 論文名稱： |
化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作 |
| 指導教授： |
江佩勳
Jiang, Pei-hsun 陳啟東 Chen, Chii-Dong |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
物理學系 Department of Physics |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 41 |
| 中文關鍵詞： | 石墨烯 、轉印 、懸浮元件 、化學氣相沉積法 |
| 英文關鍵詞： | graphene, transfer, suspended device, chemical vapor deposition |
| 論文種類： | 學術論文 |
| 相關次數： | 點閱：263 下載：17 |
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在氣相沉積的石墨烯元件製備中，一般都會使用甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate，PMMA）作為轉移用的中間介質，但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物，避免影響石墨烯電性、鍵結等性質，一向是一個重要課題。我們發展出一種製程，透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與，並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件，並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。
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